抗静电塑料在半导体制造中的角色

静电在自然界中几乎无处不在，主要由摩擦引起。大家熟悉的塑料摩擦起电实验，就是将塑料笔在头发上摩擦后吸引碎纸屑的现象。

一、抗静电塑料的半导体领域应用

半导体制造对操作的准确性和洁净度要求极高，因此在晶圆厂的保护措施及后续实际应用中，抗静电塑料发挥着至关重要的作用。

苏州展格新材料有限公司专注于提供半导体产品生产中的衬垫，超薄厚度为0.025mm-0.075mm，并可实现双面抗静电。

产品特性

• 表面光亮。
• 抗静电值稳定。
• 无移行性、不沾黏。
• 膜片平坦、洁净度高。

PET双面抗静电

• 抗静电阻抗值：10⁶Ω~10⁹Ω
• PET膜：250μm~750μm
• 抗静电阻抗值：10⁶Ω~10⁹Ω

1. 静电对半导体的危害

• 器件静电损伤
  在芯片的整个制造过程中，尤其是集成度高或尺寸较小的芯片，对静电非常敏感，易受到相关设备或工具产生的静电损伤。
• 静电吸附尘埃和污染物，降低成品率
  半导体光刻工序对尘埃极其敏感。在曝光过程中，无论是在晶片上还是防护罩上，任何尘埃都可能导致芯片图形失效。而在外延生产过程中，晶片表面沾染尘埃会导致生长率偏离、不完美，以及晶粒生长或晶体结构的错位。

2. 抗静电塑料的作用

抗静电塑料的主要功能是防止半导体制造过程中的静电产生，从而减少颗粒污染，提高晶圆的搬运、存储和转移的可靠性。抗静电塑料广泛应用于制作晶圆盒、光罩盒、晶圆梳、夹具、托盘、真空吸笔以及洁净室的建设等。

二、抗静电塑料的原理

1. 塑料的抗静电方法

尽管大多数塑料是电绝缘材料，具有较高的电阻率，但因摩擦等原因，依然会带上静电，导致吸尘和放电现象。

当前，主要有两种方法用于降低塑料的电阻：表面处理和添加导电性物质。最常用的方法是在内部或表面添加抗静电剂，以降低塑料表面电阻，赋予其抗静电性能。

2. 抗静电剂的作用

抗静电剂是指能降低塑料表面电阻并防止静电堆积的材料。它们在塑料加工和使用过程中迁移至表面，形成一层抗静电剂膜，加速静电荷的“泄漏”。

抗静电剂作为一种表面活性剂，包含亲水基和憎水基，其作用包括：

1. 在塑料表面形成平滑的抗静电剂分子层，减少摩擦，从而降低静电产生。
2. 抗静电剂分子层具有一定的导电性，能够迅速使静电“泄漏”。
3. 抗静电剂分子本身带有电荷，能够中和静电，消除电荷积累。